本书详细介绍了涉及薄膜材料科学的各个方面,内容包括真空技术、薄膜 沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。本书内容广泛,资料全面,各章后面附有习题,是一本真正意义上的薄膜科学与技术的教科书。该书自1992 年第1版问市以来,深受材料科学界的广泛欢迎。非常适用于从事薄膜材料研究的专业研究人员、材料类院系高年级本科生和研究生作教材或参考书。本书由中国科学院物理研究所研究员曹则贤先生特别推荐。 目次:材料学回顾;真空科学与技术:薄膜蒸发过程;放电、等离子体与离子-固体相互作用;薄膜的等离子体与离子束处理;化学气相沉积;衬底表面与薄膜形核;外延生长;薄膜结构;薄膜与表面的表征;薄膜中的互扩散、反应与相变;薄膜的力学性质。